X線発生装置、x線装置および構造物の製造方法

  • Inventors:
  • Assignees: 株式会社ニコン
  • Publication Date: April 13, 2017
  • Publication Number: JP-WO2015145668-A1

Abstract

X線発生装置は、カソードから放出された電子線がターゲットに到達することによりX線を放出するX線発生装置であって、カソードおよびターゲットの間で互いに直列に接続され、電子線をそれぞれ加速する第1及び第2の高電圧電源を有し、第2の高電圧電源は、第1の高電圧電源が発生する第1の高電圧の変動成分の位相に対して第2の高電圧電源が発生する第2の高電圧の変動成分の位相が所定の関係となるように第2の高電圧を出力する。

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    Patent Citations (4)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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