반도체 제조 설비의 비정형 데이터 수집 시스템 및 방법과그 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로읽을 수 있는 기록매체

System and method for collecting non-SECS data of semiconductor manufacturing equipment, and computer readable recording medium having program to perform the method

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 비정형 데이터를 수집하는 시스템 및 방법과 그 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다. 본 발명에 따른 비정형 데이터 수집 시스템은 제조 장비와 호스트 및 분석 시스템에 결합된 데이터 수집 서버를 통해 제조 장비의 비정형 데이터를 수집한다. 여기서, 데이터 수집 서버는 필요한 비정형 데이터의 상태 식별자를 자체적으로 할당하고, 호스트 및 분석 시스템으로부터 데이터 요청 메시지를 수신하고, 데이터 요청 메시지에 포함된 상태 식별자 및 수집 이벤트 식별자가 제조 장비에 정의되어 있는지를 식별하고, 제조 장비에서 지원하지 않는 정보를 비정형 데이터 요청 메시지로 해석하고, 정형 데이터 요청 메시지를 제조 장비에 전달하고, 비정형 데이터 요청 메시지를 제조 장비에 연결된 비정형 데이터 검출부에 전달하고, 비정형 데이터 검출부로부터 비정형 데이터를 수집하고, 제조 장비로부터 제1 정형 데이터를 수신할 때 수집된 비정형 데이터를 정형 데이터와 동기화된 비정형 데이터로 처리하는 것을 특징으로 한다. 반도체 제조 설비, SECS, Non-SECS, 데이터 수집, 동기화

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